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Silizium Testobjekt für Lichtmikroskopie (Auflicht)
P79502-20
Dieses Testobjekt wurde aus einem 5x5mm großem Siliziumkristall durch Ätzung hergestellt. Die Quadrate wiederholen sich alle 10µm. Die Trennlinien sind 1.9µm breit. Eine dickere Trennlinie erscheint alle 500µm.
58,20 €
69,26 €
Produktdetails
Beschreibung
Silicone Test Specimen
The test specimen consists of lines etched into a single crystal silicon substrate. They have been written by electron beam machinery, and consist of a square mesh of course lines of 500µm spacings with 50 intermediate fine lines of 10µm spacings.
The 10µm pitch has been measured using an automatic line width measuring system. The measurements obtained from wafer number ENG 1148-3 are shown below:
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Position
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Pitch Measurement µ
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1
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10.010
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2
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10.010
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3
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10.050
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4
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10.050
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5
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10.010
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6
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10.010
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7
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10.030
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8
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9.987
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9
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10.010
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Max
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10.050
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Min
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9.887
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Mean
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10.019
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3 Sigma
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0.059
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Weitere Informationen
| Anwendung |
LM
REM
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|---|---|
| Typ |
Kalibrierstandards
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| Vergrößerung | geringe Vergrößerung |
| Verpackungseinheit | 1 Stück |
