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FOKUS AUF... OSMIUM COATING - THE WAY TO GO IN SEM

Bisher wird, um nichtleitende Proben mit einer dünnen leitenden Schicht zu beschichten, in der Probenvorbereitung für das REM häufig die Sputterbeschichtung verwendet. Die Korngröße und die gerichtete Beschichtung in Sputter Coatern ist jedoch nicht ideal. Die Osmium-CVD-Beschichtung kann einige physikalische Probleme der Sputter-Beschichtung überwinden. Der Tennant20 kann diese Probleme lösen.

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