Sputter-Targets

Sputter-Targets sind scheiben- oder ringförmige Folien bzw. Platten aus hochreinen Materialien. Die Targets sind das Ausgangsmaterial um Dünnfilme mit Hilfe einer Sputteranlage unter Vakuum auf eine Probe oder ein Substrat abzuscheiden.

In der Rasterelektronenmikroskopie wird durch eine sehr dünne, leitfähige Schicht auf nichtleitendem Probenmaterial ausreichend Leitfähigkeit erzeugt, um durch den Elektronenstrahl eingebrachte Ladungen abzuleiten. Aufladungen führen in der Elektronenmikroskopie zu Bildverzerrungen und Unschärfe. Das Ziel ist die Oberflächenstruktur durch die Probenpräparation möglichst wenig zu verändern, um sie möglichst natur- und detailgetreu mit dem Mikroskop abbilden zu können.

Für die Auswahl des richtigen Targets ist die mit dem Sputtercoater zu verwendende Größe, Informationen zur eventuell verwendeten Trägerplatte und das geeignete Material ausschlaggebend. Hinweise für die Materialwahl entsprechend der Anwendung in der Elektronenmikroskopie finden Sie in der INFO-BOX.

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