Die Größe des Targets ist abhängig vom Modell des Sputter-Coaters. Sie finden Größenangaben und zugehörigen Modelle von Sputteranlagen in der untenstehenden Tabelle.

Das technische Design der Sputteranlage bestimmt, ob ein Target mit oder ohne Halteplatte benötigt wird.

Je dicker ein Target ist, desto mehr Material steht für Beschichtungen zur Verfügung. Ein Target ist verbraucht, wenn das Material sehr dünn oder löchrig geworden ist. Da das Material beim Sputtern nicht gleichmäßig an allen Stellen des Targets abgetragen wird, bleibt am Ende immer Restmaterial übrig. Hochpreisige Edelmetalle können ab gewissen Mengen eingeschickt und der Materialwert, abzüglich Bearbeitungskosten, auf neue Targets angerechnet werden.