Reinigen
Vor der Untersuchung im REM müssen nicht-biologische Proben oftmals gründlich gereinigt und entfettet werden. Die Proben können mit Lösungsmitteln, im Ultraschall oder mit einem Plasma Cleaner von Verunreinigungen befreit werden. Anschließend ist es wichtig, diese Proben gründlich zu trocknen, z.B. mit Druckgas, unter Vakuum oder in einem Ofen. Mit dem Plasma Cleaner lassen sich Oberflächen auch aktivieren, ätzen oder beschichten. Für die Fixierung auf den REM-Probenhaltern sollten vakuumtaugliche doppelseitige Klebebänder verwendet werden.